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2.1　2020-2022年全球電子特氣發(fā)展現狀
2.1.1　市場發(fā)展規(guī)模
2.1.2　市場份額分布
2.1.3　企業(yè)競爭格局
2.1.4　企業(yè)營收情況
2.1.5　產業(yè)鏈條布局
2.1.6　應用領域分布
2.1.7　產品技術分析
2.2　2020-2022年美國電子特氣發(fā)展分析
2.2.1　市場相關政策
2.2.2　市場主體介紹
2.2.3　企業(yè)布局動態(tài)
2.2.4　市場發(fā)展困境
2.3　2020-2022年日本電子特氣發(fā)展分析
2.3.1　市場發(fā)展現狀
2.3.2　市場需求分析
2.3.3　市場主體介紹
2.3.4　企業(yè)營收情況
2.3.5　企業(yè)布局動態(tài)
2.3.6　出口管制施行
2.4　全球電子特氣企業(yè)發(fā)展路徑及經驗借鑒
2.4.1　設備制造+氣體服務齊頭并進
2.4.2　通過收購快速開拓國際市場
2.4.3　通過技術創(chuàng)新豐富產品結構

3.1　經濟環(huán)境
3.1.1　宏觀經濟概況
3.1.2　工業(yè)運行情況
3.1.3　固定資產投資
3.1.4　宏觀經濟展望
3.2　政策環(huán)境
3.2.1　行業(yè)主管部門
3.2.2　行業(yè)相關政策
3.2.3　行業(yè)支持政策
3.2.4　行業(yè)標準匯總
3.2.5　細分品類標準
3.2.6　區(qū)域政策動態(tài)
3.3　行業(yè)環(huán)境
3.3.1　工業(yè)氣體基本概述
3.3.2　工業(yè)氣體發(fā)展特點
3.3.3　工業(yè)氣體市場規(guī)模
3.3.4　工業(yè)氣體區(qū)域競爭
3.3.5　工業(yè)氣體競爭梯隊
3.3.6　工業(yè)氣體企業(yè)份額
3.3.7　工業(yè)氣體產品布局
3.3.8　工業(yè)氣體發(fā)展趨勢

4.1　中國電子特氣行業(yè)產業(yè)鏈分析
4.1.1　產業(yè)鏈條分析
4.1.2　上游供應情況
4.1.3　下游應用結構
4.1.4　產業(yè)鏈企業(yè)布局
4.2　2020-2022年中國電子特氣市場發(fā)展狀況
4.2.1　行業(yè)發(fā)展歷程
4.2.2　市場發(fā)展地位
4.2.3　市場發(fā)展態(tài)勢
4.2.4　市場發(fā)展規(guī)模
4.2.5　市場供應模式
4.2.6　波特五力模型
4.3　2020-2022年中國電子特氣企業(yè)競爭情況
4.3.1　企業(yè)競爭優(yōu)勢
4.3.2　企業(yè)競爭格局
4.3.3　主要企業(yè)介紹
4.3.4　企業(yè)產品布局
4.3.5　企業(yè)營收情況
4.3.6　市場地位對比
4.4　中國電子特氣行業(yè)技術發(fā)展狀況分析
4.4.1　電子特氣行業(yè)技術發(fā)展需求
4.4.2　電子特氣行業(yè)技術發(fā)展意義
4.4.3　典型電子特氣企業(yè)研發(fā)成果
4.4.4　高純含氟電子氣體國產化成功
4.4.5　高純氮氣“卡脖子”技術取得突破
4.5　中國電子特氣行業(yè)發(fā)展問題及建議
4.5.1　行業(yè)起步較晚
4.5.2　行業(yè)競爭加劇
4.5.3　國際貿易摩擦
4.5.4　技術存在短板
4.5.5　行業(yè)發(fā)展建議

5.1　清洗、蝕刻工藝特氣
5.1.1　三氟化氮（NF3）
5.1.2　四氟化碳（CF4）
5.1.3　六氟化硫（SF6）
5.1.4　六氟乙烷（C2F6）
5.1.5　八氟丙烷（C3F8）
5.1.6　八氟環(huán)丁烷（C4F8）
5.2　氧化/沉積工藝特氣
5.2.1　六氟化鎢（WF6）
5.2.2　氧化亞氮（N2O）
5.2.3　氨氣（NH3）
5.2.4　硅烷（SiH4）
5.2.5　鍺烷（GeH4）
5.3　氧化/沉積、離子注入、外延工藝特氣
5.3.1　磷烷（PH3）
5.3.2　砷烷（AsH3）
5.3.3　乙硼烷（B2H6）
5.4　其他電子特氣
5.4.1　六氟丁二烯（C4F6）
5.4.2　羰基硫（COS）
5.4.3　三氟化硼（BF3）
5.4.4　硒化氫（SeH2）

6.1　半導體行業(yè)
6.1.1　半導體行業(yè)發(fā)展綜述
6.1.2　半導體材料國產化
6.1.3　電子特氣制程介紹
6.1.4　電子特氣應用情況
6.1.5　電子特氣應用規(guī)模
6.1.6　電子特氣應用需求
6.1.7　電子特氣應用前景
6.2　LED行業(yè)
6.2.1　LED行業(yè)發(fā)展綜述
6.2.2　電子特氣應用情況
6.2.3　電子特氣應用前景
6.3　LCD行業(yè)
6.3.1　LCD行業(yè)發(fā)展綜述
6.3.2　電子特氣制程介紹
6.3.3　電子特氣應用現狀
6.3.4　電子特氣具體應用
6.3.5　電子特氣應用前景
6.4　太陽能電池行業(yè)
6.4.1　太陽能電池發(fā)展概述
6.4.2　電子特氣制程介紹
6.4.3　電子特氣應用情況
6.4.4　電子特氣應用規(guī)模

7.1　美國空氣化工產品
7.1.1　企業(yè)發(fā)展概況
7.1.2　企業(yè)業(yè)務介紹
7.1.3　企業(yè)產品布局
7.1.4　企業(yè)技術創(chuàng)新
7.1.5　2019年企業(yè)經營狀況分析
7.1.6　2020年企業(yè)經營狀況分析
7.1.7　2021年企業(yè)經營狀況分析
7.2　林德集團
7.2.1　企業(yè)發(fā)展歷程
7.2.2　企業(yè)業(yè)務介紹
7.2.3　企業(yè)產品布局
7.2.4　企業(yè)技術創(chuàng)新
7.2.5　2019年企業(yè)經營狀況分析
7.2.6　2020年企業(yè)經營狀況分析
7.2.7　2021年企業(yè)經營狀況分析
7.3　法國液空集團
7.3.1　企業(yè)發(fā)展歷程
7.3.2　企業(yè)業(yè)務介紹
7.3.3　企業(yè)產品布局
7.3.4　工業(yè)網路組織
7.3.5　企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略
7.3.6　2019年企業(yè)經營狀況分析
7.3.7　2020年企業(yè)經營狀況分析
7.3.8　2021年企業(yè)經營狀況分析
7.4　日本酸素公司
7.4.1　企業(yè)發(fā)展概況
7.4.2　企業(yè)功能擴展
7.4.3　企業(yè)基礎技術
7.4.4　企業(yè)銷售情況
7.4.5　2019年企業(yè)經營狀況分析
7.4.6　2020年企業(yè)經營狀況分析
7.4.7　2021年企業(yè)經營狀況分析
7.5　日本昭和電工株式會社
7.5.1　企業(yè)發(fā)展概況
7.5.2　企業(yè)業(yè)務介紹
7.5.3　企業(yè)產品布局
7.5.4　企業(yè)項目動態(tài)
7.5.5　2019年企業(yè)經營狀況分析
7.5.6　2020年企業(yè)經營狀況分析
7.5.7　2021年企業(yè)經營狀況分析
7.6　其他企業(yè)
7.6.1　太陽日酸
7.6.2　關東電化
7.6.3　艾迪科

8.1　廣東華特氣體股份有限公司
8.1.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.1.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.1.3　企業(yè)經營現狀
8.1.4　特氣營收情況
8.1.5　企業(yè)業(yè)務模式
8.1.6　企業(yè)業(yè)務布局
8.1.7　企業(yè)技術發(fā)展
8.1.8　企業(yè)項目布局
8.2　蘇州金宏氣體股份有限公司
8.2.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.2.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.2.3　企業(yè)工藝介紹
8.2.4　企業(yè)經營現狀
8.2.5　特氣營收情況
8.2.6　企業(yè)產能規(guī)模
8.2.7　企業(yè)產品布局
8.2.8　企業(yè)技術發(fā)展
8.3　江蘇雅克科技股份有限公司
8.3.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.3.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.3.3　企業(yè)經營現狀
8.3.4　電子特氣營收
8.3.5　企業(yè)產品布局
8.3.6　細分產品介紹
8.3.7　企業(yè)項目動態(tài)
8.4　江蘇南大光電材料股份有限公司
8.4.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.4.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.4.3　企業(yè)經營現狀
8.4.4　特氣營收情況
8.4.5　特氣布局分析
8.4.6　企業(yè)產品布局
8.4.7　企業(yè)研發(fā)投入
8.5　昊華化工科技集團股份有限公司
8.5.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.5.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.5.3　企業(yè)經營現狀
8.5.4　特氣營收情況
8.5.5　企業(yè)產能規(guī)模
8.5.6　企業(yè)產品布局
8.5.7　企業(yè)研發(fā)投入
8.6　湖南凱美特氣體股份有限公司
8.6.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.6.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.6.3　企業(yè)競爭優(yōu)勢
8.6.4　企業(yè)經營現狀
8.6.5　氣體營收分布
8.6.6　產品銷售情況
8.6.7　特氣布局分析
8.6.8　企業(yè)產品布局
8.6.9　企業(yè)研發(fā)投入
8.6.10　企業(yè)項目動態(tài)
8.7　湖北和遠氣體股份有限公司
8.7.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.7.2　企業(yè)經營現狀
8.7.3　電子特氣營收
8.7.4　電子特氣供應
8.7.5　企業(yè)研發(fā)投入
8.7.6　企業(yè)項目動態(tài)
8.8　其他企業(yè)
8.8.1　杭氧股份
8.8.2　巨化股份
8.8.3　正帆科技
8.8.4　派瑞特氣
8.8.5　博純材料
8.8.6　綠菱公司
8.8.7　硅烷科技
8.8.8　同輝氣體
8.8.9　太和氣體

9.1　2020-2022年中國電子特氣行業(yè)投融資狀況
9.1.1　行業(yè)投資現狀
9.1.2　企業(yè)融資動態(tài)
9.1.3　企業(yè)戰(zhàn)略合作
9.1.4　項目投資布局
9.1.5　行業(yè)投資機遇
9.2　中國電子特氣行業(yè)投資進入壁壘
9.2.1　技術壁壘
9.2.2　客戶壁壘
9.2.3　服務壁壘
9.2.4　資金壁壘
9.2.5　資質壁壘
9.3　中國電子特氣行業(yè)投資風險及策略
9.3.1　行業(yè)投資風險
9.3.2　行業(yè)投資策略
9.3.3　項目投資建議

10.1　雅克科技半導體用電子級四氟化碳生產線技改項目
10.1.1　項目基本情況
10.1.2　項目投資價值
10.1.3　項目投資優(yōu)勢
10.1.4　項目實施主體
10.1.5　項目建設周期
10.1.6　項目投資概算
10.1.7　項目經濟效益
10.2　南大光電三氟化氮生產裝置項目
10.2.1　項目基本情況
10.2.2　項目投資內容
10.2.3　項目投資價值
10.2.4　項目建設周期
10.2.5　項目投資概算
10.2.6　產能消化空間
10.2.7　項目經濟效益
10.2.8　項目備案進展
10.3　正帆科技氣體擴產項目
10.3.1　項目基本情況
10.3.2　項目投資可行性
10.3.3　項目建設主體
10.3.4　項目建設周期
10.3.5　項目投資概算
10.3.6　項目環(huán)保措施
10.4　金宏氣體集成電路用高純氣體項目
10.4.1　項目基本情況
10.4.2　項目投資背景
10.4.3　項目建設方案
10.4.4　主要設備配置
10.4.5　項目物料及能源供應
10.4.6　項目環(huán)境影響及設施
10.4.7　項目組織方式和實施進展
10.4.8　項目投資概算及財務評價

11.1　中國電子特氣行業(yè)未來發(fā)展趨勢
11.1.1　行業(yè)發(fā)展機遇
11.1.2　行業(yè)發(fā)展趨勢
11.1.3　國產替代趨勢
11.2　2023-2028年中國電子特氣行業(yè)預測分析
11.2.1　2023-2028年中國電子特氣行業(yè)影響因素分析
11.2.2　2023-2028年中國電子特氣市場規(guī)模預測

圖表　不同線寬下對應特氣所含顆粒雜質要求
圖表　三種分離方法比較
圖表　化學氣相沉積工藝中電子氣體的使用流程
圖表　光刻工藝中電子氣體的使用流程
圖表　刻蝕工藝中電子氣體的使用流程
圖表　刻蝕機中輝光放電原理
圖表　離子注入工藝流程
圖表　離子注入機之磁分析器結構簡圖
圖表　離子注入機設備結構簡圖
圖表　電子氣體純度要求
圖表　氣體純化工藝流程圖
圖表　氣體合成工藝流程圖（以高純氫為例）
圖表　空氣分離工藝流程圖資
圖表　氣體充裝工藝流程圖
圖表　氣體混配工藝流程圖
圖表　氣體檢驗工藝流程圖
圖表　氣瓶處理工藝流程圖
圖表　全球電子氣體市場規(guī)模
圖表　2020全球電子氣體細分市場格局
圖表　2019年全球電子特氣市場格局
圖表　全球電子特種氣體知名企業(yè)