2025年中國芯片制造設備重點企業(yè)發(fā)展?jié)摿ε琶▓D）

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中商情報網(wǎng)訊：芯片制造設備行業(yè)是半導體產業(yè)鏈的核心環(huán)節(jié)，具有高技術壁壘和資本密集特性，涵蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積等關鍵設備。目前我國芯片制造設備迎來高速增長期，國產替代空間廣闊。榜單中，北方華創(chuàng)以刻蝕/薄膜沉積設備全環(huán)節(jié)覆蓋能力位居榜首，中微公司憑借5nm刻蝕機量產穩(wěn)居第二，上海微電子作為國產光刻機"獨苗"突破28nm制程位列第三，盛美上海（清洗設備）、拓荊科技（薄膜沉積）和華海清科（CMP設備）分列第四至第六，形成覆蓋芯片制造全流程的國產設備梯隊，其中頭部企業(yè)Q1營收增速普遍超30%，研發(fā)投入占比最高達40%。

企業(yè)名稱 技術突破 核心領域 產業(yè)鏈協(xié)同 國際化能力
北方華創(chuàng) 14nm刻蝕機量產，5nm設備驗證中，混合鍵合技術完成研發(fā) 刻蝕/薄膜沉積/清洗 綁定中芯國際、長江存儲，聯(lián)合中微、拓荊構建國產設備生態(tài) 全球第六大設備商，配套海外晶圓廠研發(fā)
中微公司 5nm等離子刻蝕機量產，MOCVD設備全球市占率第三 刻蝕/MOCVD設備 臺積電、三星核心供應商，聯(lián)合應用材料開發(fā)下一代設備 出口韓國、臺灣地區(qū)，專利超2600項
上海微電子 90nm光刻機量產，28nm制程研發(fā)加速，納米壓印技術突破 光刻機整機 與蘇大維格合作高精度光柵部件，參股中芯國際產業(yè)鏈 向東南亞出口成熟制程設備
盛美上海 兆聲波清洗技術國際領先，銅互連電鍍設備打破壟斷 清洗/電鍍設備 綁定中芯國際先進制程產線，與Lam Research技術對標 獲美國廠商二供資格，進入東南亞封測供應鏈
拓荊科技 國內唯一量產PECVD/ALD設備，混合鍵合設備通過驗證 薄膜沉積設備 覆蓋中芯國際、華虹等12英寸線，聯(lián)合開發(fā)先進封裝設備 出口以色列芯片代工廠
華海清科 12英寸CMP設備壟斷，先進封裝市占率突破40% CMP/先進封裝設備 配套長江存儲、長鑫存儲，與ASML合作下一代拋光技術 進入韓國存儲廠商二供體系
萬業(yè)企業(yè) 國內唯一12英寸離子注入機供應商，并購Compart強化氣體系統(tǒng) 離子注入/氣體系統(tǒng) 凱世通設備導入長鑫存儲，參股上海微電子產業(yè)鏈 獲得歐洲IDM企業(yè)認證
至純科技 28nm濕法設備全工藝覆蓋，單片高溫SPM工藝突破 高純工藝/清洗設備 聯(lián)合北方華創(chuàng)開發(fā)28nm以下設備，配套光伏半導體雙賽道 出口馬來西亞半導體代工廠
芯源微 涂膠顯影設備國內市占率第一，28nm前道工藝驗證完成 涂膠顯影/前道設備 綁定北方華創(chuàng)協(xié)同擴產，軍工訂單占比25% 進入東歐新興市場
長川科技 D9000測試機支持5G毫米波芯片，打破泰瑞達壟斷 測試設備 華為海思核心供應商，聯(lián)合通富微電開發(fā)Chiplet測試方案 獲東南亞封測廠采購，支持英飛凌認證

資料來源：中商產業(yè)研究院整理

更多資料請參考中商產業(yè)研究院發(fā)布的《2024-2028年中國半導體設備市場調研及發(fā)展趨勢預測報告》，同時中商產業(yè)研究院還提供產業(yè)大數(shù)據(jù)、產業(yè)情報、行業(yè)研究報告、行業(yè)白皮書、行業(yè)地位證明、可行性研究報告、產業(yè)規(guī)劃、產業(yè)鏈招商圖譜、產業(yè)招商指引、產業(yè)鏈招商考察&推介會、“十五五”規(guī)劃等咨詢服務。